中國半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展前景 半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)發(fā)展現(xiàn)狀

• 陳澤芳 2023年5月18日 來源：互聯(lián)網(wǎng) 1288 84
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2022年全球半導(dǎo)體制造設(shè)備出貨金額相較于2021年的1026億美元增長5%，創(chuàng)下1076億美元的歷史新高。從設(shè)備類型的角度來看，2022年，晶圓加工設(shè)備的全球銷售額增長了8%，而其他前端領(lǐng)域的銷售額增長了11%。在2021強勁增長后，封裝設(shè)備銷售額2022年下降了19%，測試設(shè)備總

半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)作為國民經(jīng)濟的基礎(chǔ)性支撐產(chǎn)業(yè)備受重視。近幾年，歐盟、美、日、韓等主要國家和地區(qū)相繼提出振興本土半導(dǎo)體業(yè)法案，試圖取得市場和技術(shù)的話語權(quán)。中國也積極出臺各項措施，對產(chǎn)業(yè)的扶持態(tài)度十分堅定，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的景氣度持續(xù)走高。半導(dǎo)體指常溫下導(dǎo)電性能介于導(dǎo)體與絕緣體之間的材料。半導(dǎo)體在集成電路、消費電子、通信系統(tǒng)、光伏發(fā)電、照明、大功率電源轉(zhuǎn)換等領(lǐng)域都有應(yīng)用，如二極管就是采用半導(dǎo)體制作的器件。

如今，各國都在發(fā)展信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)，這主要是因為信息技術(shù)的發(fā)展對于國家來說是至關(guān)重要的，而半導(dǎo)體則是當(dāng)代信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)的核心。半導(dǎo)體是資金密集型的行業(yè)，企業(yè)的發(fā)展需要不斷投入資金研發(fā)。但半導(dǎo)體項目投資的周期較長，半導(dǎo)體企業(yè)融資困難，難以募集到必要的資金。

根據(jù)中研普華產(chǎn)業(yè)研究院發(fā)布的《2023-2028年中國半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展前景戰(zhàn)略及投資風(fēng)險預(yù)測分析報告》顯示：

我國發(fā)展第三代半導(dǎo)體也被寫入 " 十四五 " 規(guī)劃。規(guī)劃要求，要加強原創(chuàng)性引領(lǐng)性科技攻關(guān)。其中，在集成電路層面，包括集成電路設(shè)計工具、重點裝備和高純靶材等關(guān)鍵材料研發(fā)，集成電路先進工藝和絕緣柵雙極型晶體管 ( IGBT ) 、微機電系統(tǒng) ( MEMS ) 等特色工藝突破，先進存儲技術(shù)升級，碳化硅、氮化鎵等寬禁帶半導(dǎo)體發(fā)展。

2022年全球半導(dǎo)體制造設(shè)備出貨金額相較于2021年的1026億美元增長5%，創(chuàng)下1076億美元的歷史新高。從設(shè)備類型的角度來看，2022年，晶圓加工設(shè)備的全球銷售額增長了8%，而其他前端領(lǐng)域的銷售額增長了11%。在2021強勁增長后，封裝設(shè)備銷售額2022年下降了19%，測試設(shè)備總銷售額同比下降了4%。

隨著中美貿(mào)易摩擦的加速，半導(dǎo)體全供應(yīng)鏈國產(chǎn)化勢在必行。在需求拉動和國產(chǎn)替代浪潮的推動下，伴隨著國家鼓勵類產(chǎn)業(yè)政策和產(chǎn)業(yè)投資基金不斷的落實與實施，如加大資金支持、出臺稅收優(yōu)惠政策、加強知識產(chǎn)權(quán)保護等，這些都有助于半導(dǎo)體設(shè)備市場的持續(xù)發(fā)展，半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)迎來巨大的發(fā)展契機。我國的半導(dǎo)體設(shè)備市場已經(jīng)初步具備了一定的市場規(guī)模、技術(shù)水平和產(chǎn)業(yè)鏈完整度，未來有望在全球半導(dǎo)體設(shè)備市場中發(fā)揮更加重要的作用。

當(dāng)前，隨著全球集成電路半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的競爭加劇，產(chǎn)業(yè)自主可控國產(chǎn)替代隨之加速，打造自主可控全產(chǎn)業(yè)鏈再次成為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的催化劑。對此，市場人士紛紛表示，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈自主可控是長期主線，設(shè)備及零部件國產(chǎn)替代將迎來加速期。

半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)發(fā)展現(xiàn)狀

半導(dǎo)體制造過程中不可避免會產(chǎn)生一些顆粒、有機物、自然氧化層、金屬雜質(zhì)等污染物，清洗機是指對晶圓表面進行無損傷清洗以去除雜質(zhì)，獲得所需潔凈表面，為下一步工藝準備良好條件的工藝設(shè)備。清洗機廣泛運用于集成電路制造中的成膜前/成膜后清洗、等離子刻蝕后清洗、離子注入后清洗、化學(xué)機械拋光后清洗和金屬沉積后清洗等各個環(huán)節(jié)，清洗技術(shù)是影響芯片良率的重要因素之一。目前主流的濕法清洗設(shè)備主要包括單片清洗設(shè)備、槽式清洗設(shè)備、組合式清洗設(shè)備和批式旋轉(zhuǎn)噴淋清洗設(shè)備等，其中單片清洗設(shè)備市場份額占比最高。濕法清洗工藝路線下主流的清洗設(shè)備存在先進程度的區(qū)分，主要體現(xiàn)在可清洗顆粒大小、金屬污染、腐蝕均一性以及干燥技術(shù)等標準。

全球前五大廠分別是應(yīng)用材料、阿斯麥、東京電子、泛林科技和科天半導(dǎo)體，來自美國、日本和荷蘭。憑借完整的產(chǎn)業(yè)鏈和豐富的技術(shù)專利積累，美日歐等發(fā)達國家在半導(dǎo)體領(lǐng)域長期保持了全面領(lǐng)先。半導(dǎo)體清洗設(shè)備市場集中度非常高，海外企業(yè)占據(jù)主導(dǎo)地位。全球半導(dǎo)體清洗設(shè)備主要被日本 DNS(迪恩士)、東京電子、泛林科技和 SEMES(韓國細美事)等企業(yè)主導(dǎo)，上述企業(yè)清洗設(shè)備合計占比超過全球市場 90%，產(chǎn)業(yè)集中度較高。

得益于產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)移與國家政策支持，中國大陸半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)全方位成長，國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商通過自主研發(fā)，在半導(dǎo)體刻蝕、沉積、清洗等方面實現(xiàn)了設(shè)備的國產(chǎn)化替代，并進入量產(chǎn)階段。隨著國內(nèi)企業(yè)核心技術(shù)和工藝能力的提升，以及在客戶認證方面的不斷進展，未來刻蝕、清洗設(shè)備有望成為顯著受益國內(nèi)市場需求發(fā)展的賽道，成為半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)國產(chǎn)替代的先鋒。中國大陸半導(dǎo)體設(shè)備銷售額前五大廠商為北方華創(chuàng)、中微公司、盛美上海、長川科技、新益昌，清洗設(shè)備廠商主要有盛美上海、北方華創(chuàng)、芯源微、至純科技和提?？萍嫉?，產(chǎn)業(yè)集中度較高。中國大陸從事半導(dǎo)體清洗設(shè)備的企業(yè)有盛美上海、北方華創(chuàng)、芯源微、至純科技和提?？萍?。

本報告由中研普華咨詢公司領(lǐng)銜撰寫，在大量周密的市場調(diào)研基礎(chǔ)上，主要依據(jù)了國家統(tǒng)計局、國家商務(wù)部、國家發(fā)改委、國家經(jīng)濟信息中心、國務(wù)院發(fā)展研究中心、國家海關(guān)總署、全國商業(yè)信息中心、中國經(jīng)濟景氣監(jiān)測中心、中國行業(yè)研究網(wǎng)、全國及海外多種相關(guān)報刊雜志的基礎(chǔ)信息以及專業(yè)研究單位等公布和提供的大量資料。了解更多行業(yè)數(shù)據(jù)詳情，可以點擊查閱中研普華產(chǎn)業(yè)研究院的《2023-2028年中國半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展前景戰(zhàn)略及投資風(fēng)險預(yù)測分析報告》。

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  2023-2028年中國半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展前景戰(zhàn)略及投資風(fēng)險預(yù)測分析報告

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